Common-path two-wavelength interferometer with submicron precision for profile measurements in on-line applications
Autor(es) y otros:
Fecha de publicación:
2010
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Citación:
Optical Engineering, 49(2), (2010); doi:10.1117/1.3321709
ISSN:
Identificador local:
20100489
DOI:
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- Artículos [36307]