Langmuir probe and optical emission spectroscopy studies for RF magnetron sputtering during TiON thin film deposition
Autor(es) y otros:
Fecha de publicación:
2020
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Citación:
Chinese Journal of Physics, 68, p. 168-177 (2020); doi:10.1016/j.cjph.2020.09.012
Descripción física:
p. 168-177
ISSN:
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