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Factores que influyen en la formación de la fase Beta del nitruro de silicio durante la nitruración del silicio
| dc.contributor.advisor | Riley, Frank L. | |
| dc.contributor.author | Campos Loriz, Diego | |
| dc.contributor.other | Ingeniería de Minas de Oviedo, Escuela Técnica Superior de | spa |
| dc.date.accessioned | 2013-07-23T08:32:04Z | |
| dc.date.available | 2013-07-23T08:32:04Z | |
| dc.date.issued | 1978 | |
| dc.identifier.uri | http://hdl.handle.net/10651/18077 | |
| dc.format.extent | 144, [46], [10] h. | spa |
| dc.language.iso | spa | |
| dc.publisher | Universidad de Oviedo | spa |
| dc.rights | CC Reconocimiento - No comercial - Sin obras derivadas 3.0 España | |
| dc.rights.uri | http://creativecommons.org/licenses/by-nc-nd/3.0/es/ | |
| dc.title | Factores que influyen en la formación de la fase Beta del nitruro de silicio durante la nitruración del silicio | spa |
| dc.type | doctoral thesis | spa |
| dc.local.notes | Tesis 1978-006 | spa |
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