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Factores que influyen en la formación de la fase Beta del nitruro de silicio durante la nitruración del silicio
Autor(es) y otros:
Director(es):
Centro/Departamento/Otros:
Fecha de publicación:
1978
Editorial:
Universidad de Oviedo
Descripción física:
144, [46], [10] h.
Notas Locales:
Tesis 1978-006
Colecciones
- Tesis [7596]