Factores que influyen en la formación de la fase Beta del nitruro de silicio durante la nitruración del silicio

dc.contributor.advisor	Riley, Frank L.
dc.contributor.author	Campos Loriz, Diego
dc.contributor.other	Ingeniería de Minas de Oviedo, Escuela Técnica Superior de	spa
dc.date.accessioned	2013-07-23T08:32:04Z
dc.date.available	2013-07-23T08:32:04Z
dc.date.issued	1978
dc.identifier.uri	http://hdl.handle.net/10651/18077
dc.format.extent	144, [46], [10] h.	spa
dc.language.iso	spa
dc.publisher	Universidad de Oviedo	spa
dc.rights	CC Reconocimiento - No comercial - Sin obras derivadas 3.0 España
dc.rights.uri	http://creativecommons.org/licenses/by-nc-nd/3.0/es/
dc.title	Factores que influyen en la formación de la fase Beta del nitruro de silicio durante la nitruración del silicio	spa
dc.type	doctoral thesis	spa
dc.local.notes	Tesis 1978-006	spa

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