Descargas luminiscentes de corriente continua y radiofrecuencia-espectrometria de emisión óptica: caracterización y aplicación al análisis directo de perfiles en profundidad en recubrimientos metálicos

Abstract

En la presente tesis doctoral se ha realizado un estudio comparativo entre las descargas luminiscentes de corriente continua y de radio frecuencia utilizando una cámara de descarga "tipo Marcus" construida en nuestro laboratorio. En primer lugar, utilizando la descarga de corriente continua, se analiza la influencia que el diseño de la cámara puede tener sobre las características de la descarga comparando nuestros resultados con los perfectamente establecidos de la cámara "tipo Grimm". Se ha investigado la dependencia de la velocidad de arrancado del material de la muestra y de la excitación de los átomos en el plasma con los parámetros que controlan la descarga, resultando determinante en las diferencias que se observan el hecho de que la potencia que se acopla a la descarga de radiofrecuencia es un porcentaje de la potencia aplicada el cual varía con la presión de gas en la cámara. También se comparan las características de la excitación y la ionización tanto de los átomos del gas de descarga, Ar,como de diferentes analitos(Sn,Zn y Cu), en ambas descargas. Se ha determinado que la descarga de radiofrecuencia es capaz de excitar mejor que la de corriente continua los niveles de energía más elevados de los átomos de Ar; sin embargo, para los átomos de analito parece observarse el comportamiento inverso.